Für den Einsatz in RLT-Anlagen stehen unterschiedliche Befeuchtungssysteme zur Verfügung. Die Auswahl der entsprechenden Gerätetechnik erfolgt unter den Gesichtspunkten der hygienischen Betriebsweise, Wartungskosten, Energiekosten und der zur Verfügung gestellten Befeuchtungsstrecke. Waren noch vor einigen Jahren Umlaufsprühbefeuchter (Luftwäscher) die häufigste Bauart, so hat sich der Markt hier deutlich gewandelt. Die Hygienevorgaben für RLT-Geräte führten zu einem Umdenken, weg vom Umlaufwasserprinzip mit all seinen wartungstechnischen Notwendigkeiten hin zu Systemen mit Frischwasser.

In RLT-Geräten mit kleinen Luftvolumenströmen werden wegen kurzer Befeuchtungsstrecken und der geringeren Investitionskosten häufig Elektrodampfbefeuchter eingesetzt. Sie lassen sich je nach Ausführung mit Stadtwasser oder mit Wasser aus der Umkehrosmose betreiben. In den hygienisch sensiblen Bereichen im Krankenhaus in OP-Räumen werden nach DIN 1946-4 (Lüftungstechnik im Krankenhaus) ausschließlich Dampfbefeuchter zugelassen. Ab einem mittleren Luftvolumenstrom kippt das Verhältnis von Investitionskosten zum Strombedarf und meist werden Hybrid- bzw. Hochdruckbefeuchter in RLT-Anlagen eingesetzt. Sie vereinen eine hygienische Betriebsweise, geringe Wartungskosten, gute Regelbarkeit mit einem deutlich geringeren Strombedarf als Elektrodampfbefeuchter. Hierbei wird Wasser nicht wie beim Dampfbefeuchter auf 100 °C erhitzt und verdampft, sondern das Wasser wird bei hohem Druck vernebelt (Hochdruckbefeuchter bis zu einem Druck von bis zu 130 bar oder Hybridbefeuchter bis ca. 8 bar). Der Dampfbefeuchter arbeitet im Luftstrom isotherm, also unter Beibehaltung der Lufttemperatur. Hybrid- und Hochdruckbefeuchter sind adiabate Systeme. Dies bedeutet, dass sich die Lufttemperatur beim Befeuchtungsvorgang absenkt. Für die Nacherhitzung kann preiswerte Wärme aus der Wärmerückgewinnung oder der Heizung eingesetzt werden. Im Sommer kann bei passenden Außenluftzuständen (nicht bei schwülheißen Wetterlagen) durch diese Verdunstungskühlung ein Teil der Kälteenergie eingespart werden.

Der Umlaufsprühbefeuchter wird heute noch dort eingesetzt, wo große Luftmengen befeuchtet werden müssen (z. B. in der Lackier-, Papier- und Textilindustrie) und die Stoffbelastung der Luft hoch ist. Der Wartungsaufwand ist sehr stark von der Wasser- und Luftqualität abhängig. Umlaufsprühbefeuchter wurden früher nach dem Prinzip der Taupunktregelung gefahren. Dabei wird nach der Vorerhitzung bis auf die Sättigungslinie befeuchtet und anschließend per Nacherhitzer der gewünschte Betriebspunkt erreicht. Diese Regelungsart ist nach der Energieeinsparverordnung nicht mehr zulässig. Energieeffiziente Anlagen arbeiten mit Spritzwasserregelung über geregelte Pumpen und ähneln in der Regelung den Hybrid- und Hochdruckbefeuchtern.

Eine gewisse Sonderstellung nimmt der ebenfalls im Umlaufprinzip arbeitende Kontaktbefeuchter ein. Hier rieselt Wasser über einen Füllkörper und verdunstet an dessen Oberfläche (ähnlich den Kühltürmen). Die Systeme sind schlechter regelbar und sie werden hauptsächlich in der Abluftkühlung (indirekte Verdunstungskühlung) eingesetzt. Es gibt auch vereinzelt Anwendungsfälle, wo dieses System in der Befeuchtung verwendet wird. Hybrid- und Hochdruckbefeuchter verwenden in der Regel Wasser aus einer Umkehrosmose, Umlaufsprühbefeuchter je nach Wasserqualität und Anforderung enthärtetes oder auch noch zusätzlich Umkehrosmose-Wasser.